绿碳化硅在
抛光液中主要发挥快速研磨、提升表面质量、增强稳定性及适配多领域加工需求的作用,其高硬度、锋利形貌和化学稳定性是核心优势。以下为具体分析:
1、高硬度与锋利形貌:绿碳化硅的莫氏硬度仅次于金刚石,其微观晶体结构呈尖锐棱角状,在抛光过程中能快速切入材料表面,实现快速切削。这种特性尤其适用于硬脆材料(如玻璃、陶瓷、半导体晶圆)的加工,可显著缩短抛光时间。
2、粒度控制:通过精细分级技术,绿碳化硅可提供不同粒径的磨料,满足从粗磨到精抛的全流程需求。细粒度产品能实现纳米级表面粗糙度控制。
3、低表面损伤:绿碳化硅的晶体结构均匀,抛光时不易产生划痕或亚表面损伤。其自锐性确保磨粒在磨损后能持续暴露新切削刃,维持稳定的抛光效率。
4、光泽度优化:在光学玻璃、宝石等高精度抛光中,绿碳化硅可实现Ra<0.1nm的超光滑表面,满足光学反射率、透光率等严苛要求。
5、耐酸碱腐蚀:
绿碳化硅在pH 2-12的抛光液中保持稳定,不与常见化学添加剂(如氧化剂、分散剂)发生反应,避免污染工件或影响抛光液性能。
6、热稳定性:在高速抛光产生的局部高温下,绿碳化硅的硬度与形貌几乎不变,确保抛光效果的稳定性。
7、半导体晶圆:在CMP(化学机械抛光)中,绿碳化硅与胶体二氧化硅配合使用,可实现铜、钨等金属互连层的全局平坦化。
8、复合材料:在碳纤维增强复合材料(CFRP)的加工中,绿碳化硅能有效去除树脂基体,同时保护纤维不受损伤。